(全球TMT2020年12月1日讯)12月1日, 世界公认的查验、判定、测验和认证组织SGS通标规范技术服务有限公司(下简称“SGS通标公司”)投建的半导体超痕量剖析实验室在上海张江正式投入运营。
作为长三角地区首个外资第三方半导体超痕量剖析实验室,该实验室有望协助芯片工厂加强工业链原物料的质量把控,提高晶圆出产良率,削减缺点,为我国半导体工业加快速度进行开展供给服务支撑。物料与环境的痕量污染物的剖析与操控一直是半导体出产中良率提高的要害,SGS超痕量剖析实验室有与5纳米工艺客户协作的经历,能检测出ppt等级的痕量污染物,这点也是能协助国内半导体工艺从14纳米提高至10纳米乃至未来5纳米的要害环节。
SGS半导体超痕量剖析实验室可为半导体工业链公司能够供给原物料相关的测验服务,包括超纯水,气体,超纯化学品,硅片,另一方面也供给针对半导体工艺机台和无尘自动化机械手臂的针对ISO 14644颗粒度测验,一起也为半导体出产的洁净室供给空气分子污染检测。